无锡亘芯悦科技有限公司成立于2022年,是一家由中国科学院院士张泽、中国工程院院士丁文江和其他国际领先的产业界工程技术专家共同创办的专注于半导体前道量测与检测设备研发制造的高科技企业。公司依托自主构建的成建制研发团队,自成立以来持续深耕半导体前道量检测设备领域,致力于推动关键技术的突破与产业化应用,增强国产专用设备在集成电路市场的核心竞争力,旨在成为国内领先的半导体测试设备供应商。

作为芯片制造过程中的核心装备,公司的量检测设备能够为晶圆制造企业提供全面的工艺监控与质量保障,协助客户优化制程、提升产品良率、降低综合成本,实现高效可靠的生产与持续技术进步。

2025年9月,公司自主研发的国内首台28纳米半导体电子束量测量产设备CD-SEM成功出机。28纳米关键尺寸电子束量测量产设备的全自研、国产化突破,有效解决我国半导体量检测领域关键核心难题,对于填补我国集成电路产业关键环节空白、提高国产芯片高端装备自主可控具有里程碑意义。